Метод эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов: С. Н. Свиташева: ответственный редактор О. П. Пчеляков ; Российская академия наук, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова.
Издательство: Издательство Сибирского отделения Российской академии наук
Год: 2019
Страниц: 261, [6]
Дополнительная информация
  • ISBN
    978-5-6042856-8-8, 978-5-7692-1643-5
  • Город
    Новосибирск
  • Предметная рубрика
    Тонкие слои, Полупроводников, Физика, Эллипсометрические методы исследования, Тонкие слои, Диэлектриков, Эллипсометрические методы исследования, Микроэлектронные приборы, Технический контроль, Оптические методы
  • Редакторы
    Пчеляков, О. П., 340 ред.
  • Вид документа
    Однотомное издание
  • Место хранения
    Ч/з1
  • Индекс ГРНТИ
    29.19, 47.33
Дополнительные изображения