Объединённая конференция посвящена анализу состояния исследований и разработок в области электронно- и ионно-лучевых технологий, зондовой микроскопии, рентгеновской оптики и их применений в наноструктурировании поверхности, литографии и получении материалов для микро- и наноэлектроники.

Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике : тезисы докладов объединенной конференции, г. Черноголовка, 13-17 сентября 2021 г. / Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Научно-исследовательский институт молекулярной электроники. – Москва : ООО "ФУТУРИС ПРИНТ", 2021.