Рассмотрены актуальные вопросы получения вакуума, создания вакуумного оборудования и разработки новых технологических процессов. Особое внимание уделено решению задач вакуумной техники в формировании пленок и покрытий плазменными и смежными методами, изучению свойств покрытий и методам их исследования, новым материалам покрытий, в том числе наноматериалам, новым областям их использования, разработке современного оборудования и технологических процессов, применению вакуумных технологий в промышленности и научных исследованиях и, в частности, в атомной промышленности, металлургии и добывающих отраслях.

Вакуумная техника и технологии-2022 = Vacuum technique and technology – 2023 : труды 30 всероссийской научно-технической конференции с международным участием, 20-22 июня 2023, г. Санкт-Петербург / Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д. И. Менделеева [и др.]. – Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023Библиогр. в конце докл.