Рассматриваются методы получения и измерения вакуума; принципы построения и расчета вакуумных систем; электрофизические методы подготовки материалов к проведению технологических операций, формирования пленочных покрытий; приемы построения и оценки параметров источников заряженных частиц технологического назначения: приведены инструкции по конструированию и сервисному обслуживанию вакуумного оборудования. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по техническим направлениям подготовки и специальностям

Орликов, Леонид Николаевич. Основы вакуумных технологий : учебное пособие / Л. Н. Орликов. – Томск : Издательство ТУСУРа, 2021Библиогр.: с. 119 (8 назв.).