Нано- и микросистемная техника: междисциплинар. теорет. и прикл. науч.-техн. журн.: М-во образования Рос. Федерации, М-во науки и технологий Рос. Федерации, Рос. акад. наук.
Издательство: Новые технологии
Год: 1999
Целью междисциплинарного теоретического и прикладного научно-технического журнала «Нано- и микросистемная техника» является освещение современного состояния, перспектив и тенденций развития нано- и микросистемной техники, представление результатов исследований и разработок, а также их внедрения в различные области науки, технологии и производства, с периодичностью 12 выпусков в год на русском и английском языках в основной печатной версии. Микросистемная техника (microsystems engineering – MSE) на базе технологии микросистем (microsystems technology - MST) и микроэлектромеханических систем (microelectromechanical systems - MEMS) использует планарные и объемные конструкционные свойства элементов при создании нового поколения устройств, приборов и механизмов повышенной сложности, применяемых в радиотехнике, оптике, машиностроении, приборостроении, химии и биомедицине на основе микроэлектроники и наносистем (nanosystems).