Подготовлено в соответствии с требованиями государственных образовательных стандартов по дисциплине "Технология материалов электронной техники". Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также изучающих микроэлектронику, физическую химию материалов и процессы электронной техники.

Технология материалов электронной техники : учебное пособие : (курс лекций) / Н. В. Сигловая, Н. И. Каргин, А. С. Гусев [и др.]. – Москва : НИЯУ МИФИ, 2023. - Библиогр.: с. 251 (8 назв.).