Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы, 5-7 февраля 2024 года : Кузнецовские чтения-2024 : программа и сборник тезисов докладов
Семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
Издательство: ИНХ
Год: 2024
Страниц: 85
В сборнике представлены тезисы докладов участников "Седьмого семинара по проблемам химического осаждения из газовой фазы", проведенного в 2024 году в ИНХ СО РАН, Новосибирск. Семинар проходил в рамках "Кузнецовских чтений", посвященных памяти и научному наследию российского учёного и организатора науки академика Федора Андреевича Кузнецова. Представленные доклады охватывают основные направления научно-исследовательских работ, проводимых при создании процессов получения функциональных пленок и покрытий методом химического осаждения из газовой фазы: фундаментальные основы процессов химического осаждения из газовой фазы, синтез и характеризация новых летучих соединений - перспективных исходных веществ для процессов CVD, проблемы формирования пленок и структур методами CVD, ALD, PVD, характеризация пленок и покрытий и определение областей их применения.
Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы, 5-7 февраля 2024 года : Кузнецовские чтения-2024 : программа и сборник тезисов докладов. – Новосибирск : ИНХ, 2024. - Библиогр. в конце докл.
Дополнительная информация
ISBN
978-5-90168-854-0
Город
Новосибирск
Общие примечания
В надзаг.: Сибирское отделение Российской академии наук, Институт неорганической химии имени А. В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Научный совет РАН по неорганической химии
Предметная рубрика
Осаждение, Тонких пленок, В электронике, Осаждение, Металлов при химическом покрытии